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白光干涉儀主要測(cè)量原理及應(yīng)用簡(jiǎn)介

更新時(shí)間:2022-01-07       點(diǎn)擊次數(shù):1584
   白光干涉儀的光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái),另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào),通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。
  白光干涉儀的測(cè)量應(yīng)用說(shuō)明:
  以測(cè)量單刻線臺(tái)階為例,在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插入對(duì)應(yīng)插孔后,開(kāi)啟儀器電源開(kāi)關(guān),啟動(dòng)計(jì)算機(jī),將單刻線臺(tái)階工件放置在載物臺(tái)中間位置,先手動(dòng)調(diào)整載物臺(tái)大概位置,對(duì)準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。
  在計(jì)算機(jī)上打開(kāi)光學(xué)3D表面輪廓儀測(cè)量軟件,在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的低點(diǎn),再微調(diào)鏡頭與被測(cè)單刻線臺(tái)階表面的距離,調(diào)整到計(jì)算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳,此時(shí)設(shè)置好要掃描的距離。按開(kāi)始按鈕,光學(xué)3D表面輪廓儀可自動(dòng)進(jìn)行掃描測(cè)量,測(cè)量完成后,軟件自動(dòng)生成3D圖像,測(cè)量人員可以對(duì)3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析,獲得被測(cè)器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。
  白光干涉儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能全面、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?nèi),確保了高效率檢測(cè)。*的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

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